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X線光電子分光(XPS)は、表面の組成・状態分析が可能であり、表面分析では不可欠な手法です。ラボ型XPS(Al Kα：1.5keV)では、3nm程度の極表面の評･･･
二次イオン質量分析(SIMS)は、ppbレベルの極微量不純物元素を同定・定量できる非常に高感度な分析手法です。 スパッタリングしながら測定するため、膜中の不純物･･･
X線光電子分光(XPS)は、X線を試料に照射した際に放出される電子を観測し、試料内に存在した電子の情報を取り出す分析手法で、極表面の化学組成・結合状態・価数など･･･
SIMS分析において、高濃度層から下層膜への不純物拡散を評価する際には、表面の凹凸やスパッタエッチングに伴い、高濃度層からのクレーターエッジ効果やノックオンの影･･･
TOF-SIMSは、高感度で有機、無機成分の情報を得ることができます。しかし、高感度のため、高濃度成分(たとえばバルク)が検出器に入ってしまうと、検出器が飽和し･･･
二次イオン質量分析(SIMS)は、全元素に対して高感度かつ高質量分解能測定での深さ方向分析が可能です。さらに当社では、試料導入から分析までの自動化機能を加え、高･･･
錠剤を構成する薬効成分・賦形剤・滑沢剤・その他添加剤などの分布・分散状態を把握することは、錠剤の設計および品質管理のうえで重要です。構成成分の分布をTOF-SI･･･
脆い錠剤1）の薬剤成分の断面分布を、SEMによる構造観察とEDS元素分析、TOF-SIMSによる成分分析により確認した事例をご紹介します。
SIMSによる深さ方向分析では、試料表面近傍の浅い領域においてスパッタ率が試料内部よりも高いために、クレーター深さから換算した場合の深さ軸は真値からのずれを生じ･･･
飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)は、極表面に存在する無機・有機成分を分子レベルで高感度に評価できる手法で、マッピング分析や深さ方向分析が可能です･･･
Ti酸化物のXPS分析では、内殻準位や価電子帯(Valence)スペクトルのピーク位置・スペクトル形状・サテライトの位置から酸化状態を調べることが可能です。 こ･･･
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