高濃度マトリックス中に含まれる微量成分の分析Analysis of Trace Component in High Concentration Matrix
TOF-SIMSは、高感度で有機、無機成分の情報を得ることができます。しかし、高感度のため、高濃度成分(たとえばバルク)が検出器に入ってしまうと、検出器が飽和してしまい、正確な情報(面内の濃度分布や深さ方向のプロファイル)が得られない問題がありました。
ダイナミックレンジ拡張(EDR: Extended Dynamic Range)機能を使うことで、高濃度成分のイオンを減衰させ、真値に近い情報を得ることができます。