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材料・部品からの発生ガス挙動を把握することは、不具合発生を予測・推定する重要な手段の一つです。TPD/MSは、揮発しやすい成分や有機成分の定性・定量において、新･･･
3DAP(3次元アトムプローブ)で測定を行うためには、分析対象となる試料を先端径数十nm程度に尖らせた針状に成形する必要があります。 通常この針状試料作製は、･･･
蛍光X線分析は、X線を試料に照射して試料原子を励起し､元素特有の蛍光X線を検出して構成元素の種類と含有率を分析する方法です。非破壊で迅速に分析でき、精度も高く、･･･
集束イオンビーム(FIB:Focused Ion Beam)装置は、集束したイオンビームを試料に照射しスキャンさせることで、指定箇所の加工や観察が可能です。加工･･･
イオンクロマトグラフィー(IC)は、溶液中のイオン成分を短時間で一斉分析ができます。イオン成分をイオン交換樹脂との親和力の差によって分離し、電気伝導度もしくは吸･･･
集束イオンビーム(FIB:Focused Ion Beam)装置は、加工位置精度が良く特定箇所の試料作製が可能であることから、様々な製品や材料のTEM試料作製に･･･
示差走査熱量測定(DSC)では、温度を変化させたときの熱流の変化から、材料の熱物性(融解や結晶化などの吸熱・発熱反応、ガラス転移や熱履歴など)の評価が可能です。･･･
走査電子顕微鏡(SEM)は、試料の表面に電子線を照射して観察することで、微細な表面形状や組成、結晶方位を観察することができます。
液体クロマトグラフィー飛行時間型質量分析(LC/TOF-MS)では、微量有機成分の定性・定量が可能です。分子イオンの精密質量数が分かることから、組成演算により、･･･
ICP質量分析(ICP-MS)は、試料溶液中に含まれる微量な金属成分を一斉分析できる元素分析装置です。エアロゾル化された試料はアルゴンプラズマにてイオン化した後･･･
ラマン散乱分光は、赤外分光同様に有機、無機化合物の同定が可能な手法です。 特に赤外分光に比べて空間分解能が高く、微小領域の応力・結晶性・欠陥などの評価が可能です･･･
試料の内部をX線で透過して観察することにより、試料を分解することなく非破壊で観察できます。
試料を気化させ、ガスクロマトグラフィーで各成分を分離し、質量分析計で定性・定量を行います。気化しやすい化合物の同定・定量を高感度で行える分析手法です。
熱重量・示差熱同時分析(TG-DTA)では、試料温度を変化させ、それに伴う重量変化と吸熱・発熱反応を同時に測定できます。材料の酸化・熱分解や脱水などの熱挙動の確･･･
熱機械分析(TMA)は、試料温度を変化させながら、圧縮・膨張、針入、引張などの非振動的荷重を加え、試料の寸法変化を測定できます。 線膨張率やガラス転移温度などの･･･
アトムプローブ(3DAP)分析では、これまで測定が難しかった導電性の低い物質や有機物への適用が世界的に進められています。今回、ほぼ絶縁物に近い鉱物の3DAP分析･･･
低加速電圧走査電子顕微鏡は、電子線の加速エネルギーを下げることで二次電子の脱出深さを極浅くし、薄膜や表面汚染をより鮮明に観察することができます。また、低加速電圧･･･
3DAP(3次元アトムプローブ)は、微小領域において原子レベルの空間分解能と高い検出感度を有し、得られたデータから任意領域の抽出・解析を行うことで、鉄鋼などの結･･･
始めに電子線と電子レンズの関係について簡単に説明した後、明視野像と暗視野像についてご説明します。その後、明視野像と暗視野像を活用した実例をご紹介します。
FIBにより半導体デバイス試料を表面側から加工した場合、内部構造材料のイオンミリングレート差により加工面に凹凸が発生し、特に硬い材料の直下は試料膜厚が厚くなるな･･･
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