透過型X線観察X-ray Inspection

X線は物質を透過する性質があります。X線が試料を透過する際に、一部は吸収されます。吸収の割合は、材料の密度と厚さに依存します。したがって、厚く、密度が高い(原子番号が大きい)箇所を通過する際は吸収が多くなり、透過量が少なく、濃いコントラストになります。
透過型X線観察装置は、点光源であるX線管を用いて、図のように試料にX線を透過させ、拡大した画像を検出器に投影することにより、試料内部を非破壊で観察することができます。

特徴

• 検出器にイメージインテンシファイアを用いており、コントラストの高い画像を取得可能
• 低倍率から高倍率まで観察可能
• X線はエネルギーが低いほど減衰率が高いため、軟X線の領域を含むX線を透過させることにより、密度の低いCuも高いコントラストで観察可能

用途

• はんだの接合、クラック・ボイドの有無
• 半導体内部のCuワイヤの形状観察
• BGA基板のCu配線の形状観察