FIB加工による3DAP分析用試料作製Sample Preparation for 3DAP (APT) Analysis using FIB Technique
3DAP(3次元アトムプローブ)で測定を行うためには、分析対象となる試料を先端径数十nm程度に尖らせた針状に成形する必要があります。
通常この針状試料作製は、FIB(Focused Ion Beam)を用いて行います。FIBを用いることで、金属材料の粒界や半導体デバイスの特定トランジスタなど、特定領域をピンポイントで狙って針状試料にすることが可能です。