イオンミリング

LED内の蛍光体粉末の解析

LEDに使用される各種蛍光体粒子において、蛍光発光させた状態で顕微鏡観察を行い、各色蛍光体粒子の分布状態や発光色ごとの蛍光体粒子の成分が確認できます。

基板実装のできばえ調査、接合性、その他不良に関する解析をご提供します。

アルミダイカスト部品について、3次元X線顕微鏡(X線CT)による非破壊観察で内部欠陥の有無などの情報を取得することができます。また、内部に欠陥が確認された場合、･･･

不具合モデルに適した解析手法の立案および、断面・表面解析・分析を行います。

市販のフレームにおけるアルミ材は、耐食性や耐摩耗性などを目的として、表面に陽極酸化皮膜(アルマイト)を形成しています。一般的な機械式研磨加工では、アルマイトの細･･･

自動車用バンパーの塗装膜は数種類の塗料を用いた多層構造になっています。一般的な機械式研磨加工による断面観察では、添加されている微粒子の脱粒などが発生し、その正し･･･

金属表面の印刷層のできばえ評価として、断面加工により金属との接合状態や発色成分の分散状態を観察できます。また、表面からTOF-SIMSのGCIBを用いた深さ方向･･･

金属表面に腐食防止などを目的に形成されたコーティング膜(樹脂やセラミックス)を評価する際には、イオンミリングによる断面加工を施すことで、金属との接合状態や樹脂材･･･

多孔質でかつ軟質な物質で構成された紙などの材料を観察する場合、一般的な断面作製方法の切断や研磨では、加工時の変形が大きく、観察に適さない場合があります。断面イオ･･･

多孔質な材料の断面観察において、研磨などの手法では加工による応力の影響や研磨材の混入などのため、断面観察が鮮明ではありませんでした。断面イオンミリングの適用によ･･･

複雑な3次元形状に形成されたレジストパターンのできばえ評価において、熱に弱いレジストパターン試料を試料冷却機構と3軸イオン源を有するイオンミリング技術により、ダ･･･

IGBTなどの大型試料からの切り出し、精細な断面加工後にマイクロ～ナノスケールでの結晶組織を観察することにより、応力集中箇所の調査や合金層の同定を行います。

脆弱な材料、剥離発生品や複合材料などの断面観察を正確に行うため、試料の特性に合わせた作製手法をご提案します。