セラミック焼結体の断面観察Cross Section Observation of Sintered Ceramics

多孔質な材料の断面観察において、研磨などの手法では加工による応力の影響や研磨材の混入などのため、断面観察が鮮明ではありませんでした。断面イオンミリングの適用により、低ダメージの断面加工が可能になり、鮮明な断面観察および分析ができます。

セラミックの断面SEM観察比較

機械研磨

機械研磨

研磨による焼結孔への研磨クズ混入により、形状などが不明瞭です。
また、加工起因による焼結孔エッジのダレも認められます。

断面イオンミリング

断面イオンミリング

焼結孔の形状や内部の状態が、正確に観察できます。

セラミックのEPMA元素分布マッピング比較

はさみ断面

機械研磨

機械研磨

焼結孔へ研磨クズが混入し、焼結孔形状および元素分布が不明瞭です。

断面イオンミリング

断面イオンミリング

焼結孔形状および元素分布が明瞭に観察できます。

[ 更新日:2022/03/30 ]

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