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複雑な3次元形状に形成されたレジストパターンのできばえ評価において、熱に弱いレジストパターン試料を試料冷却機構と3軸イオン源を有するイオンミリング技術により、ダ･･･
半導体や液晶などで使用される有機溶媒やレジスト、一般的な潤滑油やオイル、印刷用インク・塗料などの有機物を酸処理せずにそのまま、または有機溶媒で希釈してICP質量･･･
薄膜～基板界面の薄膜密着性(せん断強度)を直接的に評価可能な手法としてスタッドシェア試験をご紹介します。本試験では、薄膜表面に接着したスタッドに対して平行方向の･･･
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