レジストパターンの断面形状観察Cross-section Observation of Resist Patterns

複雑な3次元形状に形成されたレジストパターンのできばえ評価において、熱に弱いレジストパターン試料を試料冷却機構と3軸イオン源を有するイオンミリング技術により、ダメージのない断面加工をすることで、広範囲(約3mm幅)の複数パターンの断面形状を高精細で観察可能です。

広範囲・複数パターンの観察

光学顕微鏡像
光学顕微鏡像
表面SEM像(傾斜観察)
表面SEM像(傾斜観察)
断面SEM像(加工範囲の一部)
断面SEM像(加工範囲の一部)
  • 3軸のイオン源を用いることで1軸のタイプよりも加工幅が広く、複数のパターン(写真は4パターン)の断面形状を確認できます。
  • 冷却しながら加工することで、レジストにダメージを与えません。

任意の方向からの観察

光学顕微鏡像
光学顕微鏡像
表面SEM像(傾斜観察)
表面SEM像(傾斜観察)
断面SEM像(B-B断面)
断面SEM像(C-C断面)

断面SEM像

形状の異なる方向から加工することにより、おのおのの断面形状を確認することができます。

※試料ご提供元:株式会社コシブ精密 様

[ 更新日:2022/03/30 ]

分析に関するお問い合わせ

お問い合わせ

よくあるご質問

依頼に関するお問い合わせ

入力フォームはこちらから

電話番号・メールアドレス

トップに戻る