金属部品における内部欠陥調査Investigation of Internal Defect in the Metal Parts

アルミダイカスト部品について、3次元X線顕微鏡(X線CT)による非破壊観察で内部欠陥の有無などの情報を取得することができます。また、内部に欠陥が確認された場合、イオンミリングなどを用いた断面加工にて欠陥を露出させて状態を確認し、介在物が存在する際には、その成分を確認することで発生原因を推定することができます。

非破壊観察(X線CT)による内部情報の取得

  • 内部欠陥の有無を試料にダメージを与えることなく確認できます。
  • 内部欠陥の形状や金属部品内の存在する位置を確認できます。
  • 解析したい内部欠陥の位置(距離)は、非破壊観察で取得した複数枚の画像の撮影間隔と撮影枚数を基に算出することができます。
金属部品概略図
X線CT像 解析したい位置の確認
X線CT像

解析したい位置の確認

X線CT 3次元像
X線CT 3次元像

断面構造解析(断面加工+元素分析)

イオンミリング加工後のSEM像
イオンミリング加工後のSEM像

非破壊観察(X線CT)から算出した位置で断面加工し、SEM観察により、内部欠陥の状態が確認できます。また、内部欠陥に存在する介在物の成分や元素の分布が確認できます。

内部欠陥の一部拡大像とEPMAによる元素分析カラーマッピング像

[ 更新日:2022/03/30 ]

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