3次元FIB-SEM(EDS)解析3D Analysis by Alternating FIB Cutting and SEM Observation

FIB加工とSEM観察、EDS分析を繰り返し、取得した像をソフトウェアで再構築することで複合材料の情報を3次元的に得ることができ、欠陥や空孔を正確に把握できます。
また、加工・観察・分析は同一の真空チャンバー内で行うので、大気のダメージを受けません。

ボンディングの構造解析

ボンディングの構造解析

Power MOS トレンチの構造解析

提供する3Dビューアーを用いて、任意の断面形状を自由に抽出できます。

Power MOS レンチの構造解析

[ 更新日:2022/03/30 ]

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