TOF-SIMSによる有機ELディスプレイの分析Analysis of Organic Light Emitting Diode Display using TOF-SIMS

有機ELディスプレイ(OLED)は、応答速度が速く、フレキシブルで軽量なため、液晶ディスプレイ(LCD)とともに薄型ディスプレイの主力となっています。OLEDのデバイス特性を評価するうえで、有機層の組成や層構造を把握することは重要です。
今回、GCIB(ガスクラスターイオンビーム)を用いたTOF-SIMSの深さ方向分析を行い、OLEDの層構造の解析を行なった結果をご紹介します。

事例 有機ELの深さ方向分析

市販の小型テレビを解体し、OLEDの有機層をAr GCIB-TOF-SIMSにより、深さ方向分析をしました。

分析結果

4層の有機層とアノードのプロファイルが確認できました。

TOF-SIMS深さ方向プロファイル
各層の3次元イメージ
各層の3次元イメージ
下矢印
3次元イメージの重ね書き
推定層構造図
推定層構造図

ITO: Indium Tin Oxide (透明導電膜)

分析結果のまとめ

TOF-SIMS分析結果のまとめ

[ 更新日:2022/03/30 ]

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