TOF-SIMSによる有機ELディスプレイの分析Analysis of Organic Light Emitting Diode Display using TOF-SIMS
有機ELディスプレイ(OLED)は、応答速度が速く、フレキシブルで軽量なため、液晶ディスプレイ(LCD)とともに薄型ディスプレイの主力となっています。OLEDのデバイス特性を評価するうえで、有機層の組成や層構造を把握することは重要です。
今回、GCIB(ガスクラスターイオンビーム)を用いたTOF-SIMSの深さ方向分析を行い、OLEDの層構造の解析を行なった結果をご紹介します。