酸素・窒素/炭素・硫黄分析Oxygen and Nitrogen / Carbon and Sulfur Analysis

金属・セラミックス・ナノマテリアル材料中に含まれる酸素・窒素・炭素・硫黄は、材料の特性に大きく影響を及ぼすことが知られています。酸素・窒素分析/炭素・硫黄分析装置を用いて、幅広いレンジで高精度な定量分析が可能です。試料を溶液化する必要がないため、難分解性試料や揮発性成分も精度よく測定できます。

原理

磁性るつぼに試料を入れ、加熱炉内で融解または燃焼させます。試料中の目的成分は、それぞれ下記のガスとして抽出され、検出器に導入されます。

元素 方法 抽出
ガス
検出器 定量
範囲
定量
下限
精度 サイズ 試料数
O 不活性ガス融解
-赤外線吸収法
CO,
CO2
赤外線
検出器
0.00001
~100%
0.1µg
/測定
2桁 5mm
×5mm
~2g
N 不活性ガス融解
-熱伝導度法
N2 熱伝導度
検出器
C 高周波誘導加熱炉燃焼
-赤外線吸収法
CO,
CO2
赤外線
検出器
0.0001
~100%
1~10µg
/測定
1cm
×1cm
~3g
S SO2
酸素・窒素分析装置外観
酸素・窒素分析装置外観
炭素・硫黄分析装置外観
炭素・硫黄分析装置外観

用途

  • 半導体材料:高純度金属・化合物原料・Siウェーハ
  • 機能性材料:希土類系高性能磁石・磁性体・LED用蛍光体・ナノマテリアル
  • 無機材料 :ファインセラミックス・レアメタル・一般金属・合金

事例

鉄鋼中の炭素・硫黄成分・セラミックス(Si34)中の酸素・窒素成分を高精度に定量しました。

鉄鋼中の炭素・硫黄分析例   (単位:mass%)
  鉄鋼
炭素 硫黄
標準値   0.073±0.00059 0.0097±0.00017
分析値 0.073±0.0002 0.0097±0.00004
セラミックス中の酸素・窒素分析例   (単位:mass%)
  Si34
酸素 窒素
標準値 1.32±0.02 37.8±0.15
分析値 1.32±0.01 37.8±0.10

Siウェーハ上のレジスト除去プロセスを、残留レジスト量=炭素量として比較しました。1)

Siウェーハ上の残留レジスト量の簡易分析   (単位:µg/cm2)
除去プロセスA 除去プロセスB
短時間処理 長時間処理 短時間処理 長時間処理
23 <3 42 <3

1) ほかに炭素由来の成分が付着していないことが前提

[ 更新日:2022/03/30 ]

分析に関するお問い合わせ

お問い合わせ

よくあるご質問

依頼に関するお問い合わせ

入力フォームはこちらから

電話番号・メールアドレス

トップに戻る