酸素・窒素/炭素・硫黄分析Oxygen and Nitrogen / Carbon and Sulfur Analysis
金属・セラミックス・ナノマテリアル材料中に含まれる酸素・窒素・炭素・硫黄は、材料の特性に大きく影響を及ぼすことが知られています。酸素・窒素分析/炭素・硫黄分析装置を用いて、幅広いレンジで高精度な定量分析が可能です。試料を溶液化する必要がないため、難分解性試料や揮発性成分も精度よく測定できます。
原理
磁性るつぼに試料を入れ､加熱炉内で融解または燃焼させます。試料中の目的成分は､それぞれ下記のガスとして抽出され､検出器に導入されます。
| 元素 | 方法 | 抽出 ガス |
検出器 | 定量 範囲 |
定量 下限 |
精度 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| O | 不活性ガス融解 －赤外線吸収法 |
CO, CO2 |
赤外線 検出器 |
0.00001 ～100% |
0.1µg /測定 |
2桁 |
| N | 不活性ガス融解 －熱伝導度法 |
N2 | 熱伝導度 検出器 |
|||
| C | 高周波誘導加熱炉燃焼 －赤外線吸収法 |
CO, CO2 |
赤外線 検出器 |
0.0001 ～100% |
1～10µg /測定 |
|
| S | SO2 |
※必要試料量、試料サイズによって定量下限、定量精度が異なります。詳細についてはご相談ください。
用途
- 半導体材料：高純度金属・化合物原料・Siウェーハ
- 機能性材料：希土類系高性能磁石・磁性体・LED用蛍光体・ナノマテリアル
- 無機材料 ：ファインセラミックス・レアメタル・一般金属・合金
事例
鉄鋼中の炭素・硫黄成分、セラミックス(Si3Ｎ4)中の酸素・窒素成分を高精度に定量しました。
| 鉄鋼 | ||
|---|---|---|
| 炭素 | 硫黄 | |
| 標準値 | 0.073±0.00059 | 0.0097±0.00017 |
| 分析値 | 0.073±0.0002 | 0.0097±0.00004 |
| Si3Ｎ4 | ||
|---|---|---|
| 酸素 | 窒素 | |
| 標準値 | 1.32±0.02 | 37.8±0.15 |
| 分析値 | 1.32±0.01 | 37.8±0.10 |
Siウェーハ上のレジスト除去プロセスを、残留レジスト量＝炭素量として比較しました。1)
| 除去プロセスA | 除去プロセスB | ||
|---|---|---|---|
| 短時間処理 | 長時間処理 | 短時間処理 | 長時間処理 |
| 23 | ＜3 | 42 | ＜3 |
1) ほかに炭素由来の成分が付着していないことが前提
[ 更新日:2024/02/27 ]
