ニオブ酸リチウム・タンタル酸リチウムの組成・不純物分析Composition and Impurity Analysis of LiNbO₃ and LiTaO₃

組成および不純物の分析方法

(1) 組成分析　主成分の高精度分析　精度2桁～3桁

• アルカリ融解・酸分解（加圧・常圧）などによる完全溶液化
• 難分解性試料¹⁾にも対応
• 内標準法などを用いたICP-OES測定²⁾

1) 例 : SiC,GaN,IrMnなど　2) 誘導結合プラズマ発光分光分析

(2) 不純物分析　～ppmレベル

• 加圧酸分解による前処理
• ICP-OES・ICP-MSによる測定
• そのほかに、熱加水分解分離(下図)による前処理、ICP-MS³⁾・IC⁴⁾によりハロゲン成分も定量可能です。

3) 誘導結合プラズマ質量分析　4) イオンクロマトグラフィー

加水分解により発生した、Cl,F,NO₃(NO₂),Br,SO₄(SO₃)を吸収液に吸収させ、イオンクロマトグラフなどで測定します。
セラミックス試料だけでなく、揮発性試料の有機溶媒や樹脂などにも対応できます。

(3) O,N,C,Sなどのガス成分分析

分析結果例

(1) ニオブ酸リチウム・タンタル酸リチウムの組成分析結果

ニオブ酸リチウム・タンタル酸リチウムともに、組成比がほぼ理論値であることが確認できました。
3桁目は参考値。組成は70mgの試料量で測定可能でした。

(2) ニオブ酸リチウム中の不純物分析結果

Na,Mg,Al,Si,P,K,Ca,FeおよびTaが、数十～数百ppm含まれていることが分かりました。
成績書との比較も可能です。
不純物は200mgの試料量で測定可能でした。

[ 更新日:2024/12/05 ]