高圧ガス中の不純物分析Sampling and Impurity Analysis of High-Pressure Gas

分析対象とサンプリング手法

目的のガスラインに適切な減圧が可能な独自のサンプリングキットを接続し、分析対象に応じたサンプリング分析を行います。

有機不純物 (吸着剤で捕集)

• 対象：有機溶剤成分・環状シロキサン・フタル酸エステル系成分・油分
• サンプリング：吸着剤
• 分析手法：GC/MS(ガスクロマトグラフィー質量分析)

イオン・メタル不純物 (純水でバブリング捕集)

• 対象：イオン成分 ⇒ F^-,Cl^-,NO₂^-,NO₃^-,SO₄^2-,PO₄^3-
  ・ギ酸・酢酸・NH₄⁺・アミン類など
• サンプリング：インピンジャー
• 分析手法：IC(イオンクロマトグラフィー)

• 対象：メタル成分 ⇒ Na,Fe,Cr,Cuなど
• サンプリング：インピンジャー
• 分析手法：ICP-MS(誘導結合プラズマ質量分析)

有機不純物 (吸着剤で捕集)

• 対象：有機溶剤成分・環状シロキサン・フタル酸エステル系成分・油分
• サンプリング：吸着剤
• 分析手法：GC/MS(ガスクロマトグラフィー質量分析)

イオン・メタル不純物 (純水でバブリング捕集)

• 対象：イオン成分 ⇒ F^-,Cl^-,NO₂^-,NO₃^-,SO₄^2-,PO₄^3-・ギ酸・酢酸・NH₄⁺・アミン類など
• サンプリング：インピンジャー
• 分析手法：IC(イオンクロマトグラフィー)

• 対象：メタル成分 ⇒ Na,Fe,Cr,Cuなど
• サンプリング：インピンジャー
• 分析手法：ICP-MS(誘導結合プラズマ質量分析)

事例　CDAラインガス評価

(分析対象：有機不純物)

CDAラインのサンプリングによる不純物分析にて、油分・環状シロキサン・BHT(ジブチルヒドロキシトルエン)などの有機不純物を検出しました。ラインのパージ前後の分析結果を比較すると、有機不純物はパージ後に低減することが分かり、有機不純物の除去にパージが有効であることを検証できました。

[ 更新日:2025/04/24 ]