金属表面のコーティング膜解析Analysis of Coating Film on Metal Surface

金属表面のコーティング膜解析

イオンミリングは、SEMなどの断面観察用の試料作製に用います。Arイオンを試料の加工該当部に照射し、そのスパッタ効果を用いて加工します。
樹脂などの試料は、イオン照射時に発生する熱でダメージを受けるため、冷却することでダメージを低減させます。

イオンミリング加工のメリット

• 介在物を脱粒させずに、そのままの状態で確認できます。
  →空隙が確認された場合は、脱粒によるものではないことが特定できます。
• 元素分布確認(EDS分析)にて、白色樹脂内の粒子、金属との界面、金属表面のメッキ層の積層が明確に確認できます。

研磨加工のデメリット

• 介在物の脱粒(赤文字部)が見られます。
  →空隙なのか、加工による脱粒なのかを特定できません。
• 金属と白色樹脂の密着性の弱い界面で剥離(青文字部)が生じます。

[ 更新日:2025/04/22 ]