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半導体デバイスの故障解析の手順として、故障発生状況の調査、外観観察および電気特性を取得し、故障メカニズムを推測します。次に、非破壊検査や故障特定を行なった後、さ･･･
SCMは半導体のキャリア分布を2次元で可視化できる手法で、SPMの応用の一つです。
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