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太陽電池では、EL(Electro Luminescence)法を用いて、物理的なマイクロクラックや、目に見えない電流リーク箇所を検出することが広く行われていま・・・
SCMは半導体のキャリア分布を2次元で可視化できる手法で、SPMの応用の一つです。
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