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SCMは半導体のキャリア分布を2次元で可視化できる手法で、SPMの応用の一つです。
走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡(sMIM)は、半導体のキャリア分布を2次元で可視化できる手法で、SPMの応用の一つです。
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