費用

ご質問 回答
価格を教えてください。 解析内容によってお見積りします。担当営業もしくは当社HPからお問い合わせください。
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検体数割引はありますか? 一つの試料ごとに解析対応しているため基本的には検体数割引はありません。多くの試料がある場合はご相談ください。
測定できなかった場合でも費用が掛かりますか? FIB加工による針状試料作製費用が発生します。測定実績のない材料や測定困難が見込まれる試料の場合は、受注前にご相談させていただきます。

納期

ご質問 回答
納期はどれくらいですか? 通常は、試料到着後10営業日程度で一次速報可能です。
繁忙期、装置メンテナンス時、特殊な試料、検討が必要な試料などは、都度ご相談となります。

試料

ご質問 回答
別の分析もしたいのですが試料の併用は可能ですか? 3DAP分析では数十μm×数十μmをFIB加工にて抜き取ったうえで破壊分析となります。分析希望のエリアと十分に離れた場所であれば可能です。なお、試料表面に金属保護膜を付けることがありますので、ご依頼時にお申し付けください。
提供する試料サイズはどれくらい必要ですか? ピンセットで取り扱えるサイズ(1mm角程度)があればFIB加工が可能です。2タイプの試料台があり、薄片試料は、25mm(W)×25mm(D)×4mm(H)以下、厚膜試料は28mm(W)×28mm(D)以下、10~12mm(H)が好ましいです。
試料の制限がありますか? ナノ粒子は試料加工が困難です。空隙(ボイド)があるもの、膜質が弱いもの、層構造で界面密着性が悪いものなどは測定が困難です。異種材料が含まれる構造物についてはご相談ください。
試料を間違えて渡してしまいました。別の試料でやり直してください。 作業の進捗状況により別途費用を請求させていただきます。速やかにご連絡ください。なお、納期に関しても再調整させていただきます。
有機物の分析はできますか? できません。C原子は電界蒸発しにくい元素のため、分析できた例はほとんどありません。また、3DAP測定を行うために試料を針状に加工する必要があります。有機物は電子線やGaイオン照射で変質するので針状になりません。
絶縁物の分析はできますか? セラミックス・ガラスなどの絶縁物のみの測定実績はあります。一方で半導体など多層構造や複雑な構造中の絶縁物(酸化膜)の場合は測定が困難です。
空隙(空孔)のある試料の分析はできますか? 空隙が無視できるくらいの大きさと頻度であれば分析できる可能性もありますが、空隙周囲の構成元素が空隙を埋めるように飛び出し、位置(面内・深さ)の情報を狂わせ、空隙を空隙として正しくデータ化できません。空隙が大きい場合は針状試料加工が困難なうえ、3DAP測定時の電界応力に耐えられません。

測定

ご質問 回答
測定領域はどれくらいですか? 50nmφ×200nm程度です。構成元素・構造などにより増減することがあります。
測定できない理由を教えてください。 3DAP分析では試料先端に強い電界が生じるため、試料の根元付近に電界応力が生じます。電界応力は、印加電圧の二乗に比例するため、電界蒸発値が高いもの、針状試料が太い場合などに電界応力によって試料破壊しやすくなります。

分析

ご質問 回答
3DAPの分解能はどれくらいですか? X・Y方向:0.5nm、Z方向:0.2nmです。
分析元素の指定が必要ですか? 基本的にはすべての元素が検出(検出効率は50%)されるので指定は不要です。ただし、数多くのピークが出てくるため、試料の構成元素のほか、含有の可能性のある元素についてあらかじめご提示いただくことで、より正確なピークアサインが可能となります。
膜厚を知りたいのですが、精度はどのくらいですか? 3DAP分析では長さは分かりません。通常は、設計値やTEMによる測長膜厚に合わせて3次元再構築をします。膜厚の目安になる構造がない試料の場合は、SEM(STEM)像や電圧カーブなどから便宜的に再構築します。
水素の定量はできますか? 水素は検出されますが、チャンバー内の水素との切り分けができないので定量はできません。また、真空度・分析条件・試料形状・試料構成元素などにより検出量が増減するため、水素の分布についても信頼性はありません。重水素の分布は観察可能な場合があります。
最表面の情報が知りたいのですが? FIB加工時に消失する(削れる)ため分かりません。最表面の元素と電界蒸発値が近い保護膜を連続成膜することが可能であれば、比較的きれいな解析が可能です。
FIBのダメージが気になります。 FIB加工で試料作製するため、FIBによるダメージ層が一部で残ります。しかしながら、低加速で仕上げを行うため、ダメージ層は針状試料先端から10nm程度、側面はさらに薄くなります。また、解析の際に解析範囲から除外することで解析データからは、ほぼFIBの影響を除くことができます。

解析

ご質問 回答
元素ごとの検出下限について教えてください。 基本的にアトムプローブの原理上、元素によって検出下限は変わらず、100ppm〔5E18atoms/cm3(組成比で0.01atomic%)〕程度です。
数え落としとは何ですか? 一度の電圧またはレーザパルスで、2個以上のイオンがまとまって電界蒸発することがあります。同じ質量/電荷比のイオンが検出器のほぼ同じ位置で検出された際に2個を分離できないことによって生じます。検出器の位置は時間に変換されるため、主に飛行時間が短い軽元素(~O)で生じます。
GaN中のSiの定量をしたい。 Si++は、N+,Si+,N2+と質量干渉します。29Si+,30SiもN2H,N2H2,干渉するため、GaN、鉄鋼材料、窒化物中のSiの有無、定量には不向きです。Si系材料中のNの定量も解析が困難です。
Si中のN,Pの定量をしたい。
鉄鋼材料のSiの定量をしたい。
質量干渉の具体的な例を教えてください。 主に単原子イオンを記載していますが、化合物イオンも検出されるため、構成元素によっても質量干渉する場合があります。下表は一例です。
質量干渉例

こちらからPDFファイル(122 KB)が開きます。

ご質問 回答
自分で解析したいのですが? 専用のソフト(IVAS)が必要で、有償版と無償版(IVAS LT:簡易解析のみ)があります。
IVAS LT入手先(CAMECA社Webサイト)
http://www.atomprobe.com/keyaptlinks/ivas38update
※通常、2~4週間でCAMECA社(米国)からドングルが郵送されます。
Webサイトからの登録ができない場合は、同サイト内に記載(リンク)されているアドレスへ直接E-mailしてください。詳細はCAMECA社Webサイトをご参照ください。
IVAS LTを入手したので使い方を教えてください。 ソフトをインストール後、ヘルプコマンドよりPDFでダウンロード可能です(英語版のみ)。
立ち上げ~簡易解析内容(弊社監修)のレクチャーを実施しています(有償)。解析結果報告会などでの簡易的な解析のご質問であれば無償で対応することも可能です。
解析用のデータは有償ですか? 無償でご提供しています。希望のデータ名をご連絡ください。
提供されたファイルの使い方は? (1) マイドキュメントに「NetBeansProjects」というフォルダを作成し、その中に提供したデータフォルダ(「R35_*******」など)を保存します。
(2) 画面左下の『range files』を右クリックし、所望データ フォルダ内のrrngのファイルを選択して開きます。
(3) 画面左上の『file』 ⇒『open project』 ⇒ 送付させていただいたフォルダを選択して開きます。
(4) 画面左上の『Project』タブの直下に現れたフォルダの『+』を押して、さらに『recon-xx』の『+』を開くと、『default』などが開きます。(2)で選んだフォルダを開いてください。
(5) posファイルが現れるので、右クリック、『open pos analysis』を選択し、(2)のrrngファイルを選択すると3次元像が表示されます。

依頼

ご質問 回答
3DAP分析の流れを教えてください。 試料内容、解析ポイントなどを分析・評価・解析申込書に記載し申し込みください。
お問い合わせ
※来訪・訪問・オンラインによる事前打ち合わせも可能です。
FIBを用いて試料を針状に加工します。
FIB加工による3DAP分析用試料作製
※試料状況に応じてFIB加工前に保護膜(金属膜)を施します。
試料に適した装置と条件を用いて測定します。再現性データも取得します。
3次元アトムプローブ(3DAP)
3次元像、全体のマススペクトル、原子マップ、濃度プロファイル、ご要望の解析データを作成し、速報します。
結果をご確認いただき、ご不明な点が解消しましたら、報告書を納品します。試料は特別な場合を除き、報告書に同梱します。
さらに詳細な解析希望があれば随時ご連絡ください。解析内容に応じて費用を算出します。
ご自身での解析を希望される場合は、解析用のデータを提供します。

事例

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分析事例を紹介してください。 こちらをクリックしてください。
3次元アトムプローブ デモンストレーション
3次元アトムプローブ解析事例

関連情報

下表は、こちらから入手可能です。(CAMECA社Webサイト)
https://www.atomprobe.com/keyaptlinks/getyourperiodictable

Periodic Table of the Isotopes for Atom Probe Tomography

[ 更新日:2022/03/30 ]

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