3DAPによるセラミックス材料の粒界分析3DAP (APT) Analysis of Grain Boundaries in Al2O3
市販品セラミック焼結体(Al2O3)の粒界に着目し、偏析している元素やその量を3DAP(3次元アトムプローブ)を用いて評価しました。
FIBとSTEMを組み合わせた針状試料作製
FIBとSTEMを併用して、粒界を含む針状試料を作製しました。
粒界に偏析した元素の特定
粒界を含む解析領域から、微量のMgとCaが検出されました。
偏析元素の定量評価
3DAP像に示した粒界を含む解析領域の濃度プロファイルから、MgおよびCa(ピークトップ濃度で約0.2atomic%、約0.8atomic%)が粒界に偏析していることが分かりました。
[ 更新日:2024/02/26 ]
