3DAPによるセラミックス材料の粒界分析3DAP (APT) Analysis of Grain Boundaries in Al2O3

市販品セラミック焼結体(Al2O3)の粒界に着目し、偏析している元素やその量を3DAP(3次元アトムプローブ)を用いて評価しました。

FIBとSTEMを組み合わせた針状試料作製

FIBとSTEMを併用して、粒界を含む針状試料を作製しました。

FIBとSTEMを組み合わせた針状試料作製

粒界に偏析した元素の特定

粒界を含む解析領域から、微量のMgとCaが検出されました。

3DAP像と解析領域のマススペクトル

偏析元素の定量評価

3DAP像に示した粒界を含む解析領域の濃度プロファイルから、MgおよびCa(ピークトップ濃度で約0.2atomic%、約0.8atomic%)が粒界に偏析していることが分かりました。

3DAP像と解析領域の濃度プロファイル

[ 更新日:2022/03/30 ]

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