高感度STEM/EDSと3DAPによるLED解析LED Device Analysis using Sensitive STEM/EDS and APT
LEDデバイスの発光中心である量子活性井戸層(MQW)は、Inドープ層が積層された構造で、各ドープ層のIn濃度や分布が発光特性へ大きな影響を及ぼすことが知られています。しかし、Inドープ層の厚さは数nmしかなく、詳細に分析できる手法は限られています。このようなケースでは、高感度STEM/EDSおよび3次元アトムプローブ(3DAP)は有効な分析手法であり、これらの手法で評価した事例をご紹介します。