3DAPとEBSDによる鉄鋼材料の分析3DAP (APT) and EBSD Analysis of Steel Materials

3DAP(3次元アトムプローブ)はナノサイズの原子配置を分析することが可能で、EBSD(電子後方散乱回折)は微小なサブミクロン領域の結晶方位解析を行うことが可能です。これらの手法の組み合わせにより、特定の結晶粒の組成や境界偏析を評価しました。

EBSDを組み合わせた針状試料作製

ステンレス鋼(SUS329)の表面のEBSD観察から特定の結晶粒を選択し、その境界がアトムプローブ分析範囲に入るようにEBSD観察を行いながら、針状試料を作製しました。

α相/γ相境界を狙ったアトムプローブ用針状試料作製過程

α相/γ相境界を狙ったアトムプローブ用針状試料作製過程
α相/γ相境界を狙ったアトムプローブ用針状試料作製過程(透過EBSD観察)

α相:体心立法格子 (bcc)γ相:面心立法格子 (fcc)

3DAPによる粒界解析

境界付近の濃度プロファイルを作成した結果、α相/γ相境界において、Cなどの偏析および、その濃度が明らかになりました。

3DAP測定による特定境界の評価

3DAP測定による特定境界の評価
3DAP測定による特定境界の評価(全検出元素表示)
全検出元素表示
3DAP測定による特定境界の評価(C元素表示)
C原子表示
3DAP測定による特定境界の評価(Mo原子表示)
Mo原子表示
3DAP測定による特定境界の評価 境界に対して直交方向の濃度プロファイル
境界に対して直交方向の濃度プロファイル

[ 更新日:2022/03/30 ]

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