フーリエ変換赤外分光(FT-IR)Fourier Transform Infrared Spectroscopy
赤外分光分析は、主に化合物(特に有機物)が『何』であるかの決定や、分子構造解析に用います。試料に赤外線を照射し、得られた赤外吸収スペクトルより成分分析を行います。
特に1500～650cm-1は指紋領域と呼ばれ、物質特有のスペクトルパターンを示します。この領域の吸収スペクトルを既知物質やデータベースなどと照合することにより、物質の同定を行います。
原理
化合物を構成している結合は個々に固有の振動数で振動しています。
このような結合に赤外線を照射すると、個々の振動数と同じ振動数の赤外線を吸収します。吸収された光を計測することで結合の種類や量を調べることができます。
微小異物の分析事例
用途
- 異物分析
(インクジェットノズル内異物・端子付着異物など) - 有機材料の構造解析
- 有機材料の劣化評価(樹脂変色・割れ・硬化など)
- 表面官能基の評価
- 接着剤の硬化度
- Si酸化膜・窒化膜の膜質評価
[ 更新日:2024/12/05 ]
