微小部特異成分のイメージングIRによる分析Identification of Specific Components for Micron Area using Imaging FT-IR

FT-IR(フーリエ変換赤外分光)を用いると分子内の結合情報を得ることができます。
イメージングIRは、特定の結合について2次元の分布を得ることができ、材料中の微小な異物や多層薄膜の組成、シミなどの分析に有効です。
また、ATR(全反射)法では数μmの空間分解能で分析が可能です。

特徴

  • ATR法1)は数μmの空間分解能での分析が可能
    視野は固定で32μm×32μm 2)
  • 透過法・反射法の空間分解能は約10μm
    視野は固定で170μm×170μm 2)
  • 一度に64×64ピクセルを測定し、ピクセル単位でスペクトルを表示できます。
2次元空間における官能基の分布

1) 凹凸のある試料、軟らかい試料は適用できない場合があります。
2) 測定領域が広い場合は、複数回測定して重ね合わせます。

事例 Siウェーハ上の指紋

Siウェーハ上の指紋を透過法で測定しました。

試料測定エリア

黄色矢印部分のスペクトル抽出

タンパク質と同定
脂肪酸エステルと同定

適用

  • 微小異物の分析
    (インクジェットノズル内異物・フィルム内異物など)
  • ラミネートフィルムの断面成分分析
  • 塗膜界面の添加剤の偏析
  • フィルム表面官能基の分布

[ 更新日:2022/03/30 ]

分析に関するお問い合わせ

お問い合わせ

よくあるご質問

依頼に関するお問い合わせ

入力フォームはこちらから

電話番号・メールアドレス

トップに戻る