セラミックス材料の複合分析3DAP(APT) Analysis of Ceramics Combined with STEM/EDS and ICP
セラミックス材料の特性を理解する上で、ナノからマイクロまでマルチスケールでの評価が必要です。市販のセラミックス材料(Al2O3・ZrO2・AlN)について、3DAP・STEM/EDS・ICP(ICP-OES)を用いて複合的に分析しました。
Al2O3分析結果
3DAP分析結果のマススペクトル上で区別がつかないピークについては
ICPやSTEM/EDS分析結果を基に同定することで
粒界への偏析元素がMg,Caであると特定しました
ZrO2分析結果
粒界の偏析元素がAl,Yであると特定しました
AlN分析結果
粒界の偏析元素がO,Er,Caであると特定しました
SEM・ICP・STEM/EDSおよび3DAPによる分析結果
| 材料 | SEM 粒のサイズ |
ICP 不純物元素 |
STEM/EDS 粒界偏析元素 |
3DAP 粒界偏析元素(atomic%) |
|---|---|---|---|---|
| Al2O3 | 5～20μm | B,Na,Mg,Si,Zr,Ca, Fe,Ni,Ga,Y,Er |
Ca | Ca(0.8),Mg(0.2) |
| ZrO2 | 0.5～2μm | Y,Al,Hf,B,Na,Ni, Fe,Cu |
Y,Al | Y(0.5),Al(0.5) |
| AlN | 1～5μm | Er,Si,Ca,Ni,Fe | O,Er,Ca | O(6.7),Er(1.1),Ca(2.3) |
[ 更新日:2025/04/22 ]
