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酸化膜の形成プロセスにおいて、酸化膜厚の制御は最も重要な項目の1つです。そこで、光電子分光を用いて表面酸化膜の膜厚を非破壊で見積りました。
X線管から発生したX線を細く絞って試料(A3サイズまで対応可能)に照射し､試料を透過した透過X線や試料から発生した蛍光X線を検出することにより､元素マッピング機･･･
蛍光X線分析は、X線を試料に照射して試料原子を励起し､元素特有の蛍光X線を検出して構成元素の種類と含有率を分析する方法です。非破壊で迅速に分析でき、精度も高く、･･･
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