微小部特異成分のイメージングIRによる分析Identification of Specific Components for Micron Area using Imaging FT-IR
FT-IR(フーリエ変換赤外分光)を用いると分子内の結合情報を得ることができます。
イメージングIRは、特定の結合について2次元の分布を得ることができ、材料中の微小な異物や多層薄膜の組成、シミなどの分析に有効です。
また、ATR(全反射)法では数μmの空間分解能で分析が可能です。
特徴
- ATR法1)は数μmの空間分解能での分析が可能
視野は固定で32μm×32μm 2) - 透過法・反射法の空間分解能は約10μm
視野は固定で170μm×170μm 2) - 一度に64×64ピクセルを測定し、ピクセル単位でスペクトルを表示できます。
1) 凹凸のある試料、軟らかい試料は適用できない場合があります。
2) 測定領域が広い場合は、複数回測定して重ね合わせます。
事例 Siウェーハ上の指紋
Siウェーハ上の指紋を透過法で測定しました。
黄色矢印部分のスペクトル抽出
適用
- 微小異物の分析
(インクジェットノズル内異物・フィルム内異物など) - ラミネートフィルムの断面成分分析
- 塗膜界面の添加剤の偏析
- フィルム表面官能基の分布
[ 更新日:2025/04/22 ]
