昇温脱離ガス分析(TDS)による水素アニール評価Evaluation of Hydrogen Annealing Process by TDS

試料からの昇温脱離ガスプロファィル(圧力プロファイル)

水素アニール有り/無しのTa板をTDSで分析しました。昇温しながら各試料からの脱離ガスを真空計でモニターすることで総脱離ガスの挙動を知ることができます。

水素アニール無しに対して、水素アニール有りの方が、総脱離ガス量は多く、約800℃付近(★)で最大になることが分かりました。

質量分析(m/z 2,18,57)による脱離ガス種の同定、脱離ガス量の比較

脱離ガスを質量分析することで、ガス種の同定や目的成分ごとの脱離挙動を知ることができます。

m/z：質量電荷比

m/z 2(H₂)

水素アニール無しと比べて、水素アニール有りの方が水素量が増加していることが判明しました。
また、800℃付近で脱離ガス量が最大(★)となり、圧力プロファイルと一致しました。Ta板中へ吸収された水素の脱離を捉えていると推測されます。

m/z 18(H₂O), m/z 57(C_xH_y)

水素アニール有り/無しでの脱離挙動が異なることが判明しました。

※質量指定分析により水素などの定量も可能です。

[ 更新日:2025/06/19 ]