ガスクロマトグラフィー質量分析(GC/MS)Gas Chromatography / Mass Spectrometry

原理

試料を気化させて中空のカラムに導入します。カラムの内壁の固定相と試料中の成分との親和力の差および蒸気圧によって各成分は分離されます。分離された成分をイオン化し、質量分析計に導入してマススペクトルを取得します。マススペクトルのパターンから成分の同定を、また、イオン検出強度またはピーク面積から定量分析を行います。

特徴

• 気体、および300℃程度で気化する試料の定性・定量分析が可能
• 定量分析での感度はppm以下、成分によりppbレベルの定量が可能
• 質量範囲(m/z) : ～1050

サンプリング・前処理手法

各種試料形態と気化・注入方法と用途

直接注入 液体・ガスなどの試料を直接注入 用途 Liイオン二次電池セル内ガスの定量 LCDパネル内液晶中の微量不純物の定性 有機成分(洗剤など)の定性・定量
ヘッドスペース 固体あるいは液体試料に含まれる揮発性成分 用途 モールド樹脂からのアウトガス 水試料中の揮発性成分の定性・定量
加熱脱着 中揮発性有機物を捕集剤に吸着させて高感度分析 用途 CRなどの大気中の微量有機成分の定性・定量 ボンベガスやCR配管中の有機成分の定性・定量
熱分解 ポリマー材料の熱分解物および添加剤 用途 樹脂の劣化原因調査 樹脂に含まれる添加剤の定性・定量
ウェーハ加熱 300mmφのウェーハを加熱し、付着有機成分を分析

事例　樹脂ペレットの残留溶媒

樹脂ペレットをガラス容器内に密封し、加熱後、発生したガスをヘッドスペース法により分析しました。

各成分がカラム内で時間によって分離され、質量分析計へ入ります。各時間における質量イオン強度を加算したトータルイオンクロマトグラムが得られます。

各ピークの強度(面積)から定量が可能です。

各時間における質量を質量分析計で分離し、マススペクトルを得ます。

マススペクトルのパターンは物質固有のため、それをライブラリーと照合し、定性することができます。

[ 更新日:2025/04/22 ]