【出展しました】第71回応用物理学会春季学術講演会(2024/03/22-25)
東芝ナノアナリシスは、2024年3月22日(金)-25日(月)に開催された第71回応用物理学会春季学術講演会の展示会にてポスター展示をしました。
今回ご紹介した内容
・放射光トポグラフィーによる欠陥評価
・全反射HAXPESの応用事例
・3次元アトムプローブ解析技術
・STEMと3DAPによるSiC MOSFET複合分析
・プラズマFIB加工によるSiCデバイスの拡散層観察
ご来場いただいた皆様には、厚く御礼申し上げます。
[ 更新日:2024/03/27 ]