3次元アトムプローブ解析事例集

表紙 I
目次 1
3次元アトムプローブ(3DAP) 2
3DAP分析の流れ・事例1 3
事例2 4
解析手法1-3 5
FIB加工による3DAP分析用針状試料作製 6
NiSi/Si接合の低抵抗化の解析 7
TEMと3DAPによるFinFETデバイスの分析 8
Si酸化膜中のナノ粒子分析 9
強磁性半導体の分析 10
高感度STEM/EDSと3DAPによるLED解析 11
In濃度算出・濃度分布評価 12
SIMS・STEM・3DAPによるLED複合分析 13
STEMを用いた特定箇所の3DAP分析 14
GaNエッチピット直下転位の分析 15
ナノワイヤLED分析 16
駆動用磁石分析 17
EBSDを用いた鉄鋼材料の3DAP分析 18
高感度STEM/EDSと3DAPによる鉄鋼材料の分析 19
Nb3Al超電導体の積層欠陥分析 20
セラミックス材料の複合分析 21
分析結果 22
セラミックス材料の粒界分析 23
鉱物のアトムプローブ分析 24
受託分析サービスの流れ 25
裏表紙 27

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