表紙 | I |
目次 | 1 |
3次元アトムプローブ(3DAP) | 2 |
3DAP分析の流れ・事例1 | 3 |
事例2 | 4 |
解析手法1-3 | 5 |
FIB加工による3DAP分析用針状試料作製 | 6 |
NiSi/Si接合の低抵抗化の解析 | 7 |
TEMと3DAPによるFinFETデバイスの分析 | 8 |
Si酸化膜中のナノ粒子分析 | 9 |
強磁性半導体の分析 | 10 |
高感度STEM/EDSと3DAPによるLED解析 | 11 |
In濃度算出・濃度分布評価 | 12 |
SIMS・STEM・3DAPによるLED複合分析 | 13 |
STEMを用いた特定箇所の3DAP分析 | 14 |
GaNエッチピット直下転位の分析 | 15 |
ナノワイヤLED分析 | 16 |
駆動用磁石分析 | 17 |
EBSDを用いた鉄鋼材料の3DAP分析 | 18 |
高感度STEM/EDSと3DAPによる鉄鋼材料の分析 | 19 |
Nb3Al超電導体の積層欠陥分析 | 20 |
セラミックス材料の複合分析 | 21 |
分析結果 | 22 |
セラミックス材料の粒界分析 | 23 |
鉱物のアトムプローブ分析 | 24 |
受託分析サービスの流れ | 25 |
裏表紙 | 27 |
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