3次元アトムプローブ解析事例集 4 21-102(1) 事例2 3DAP像から特定箇所を抽出 得られた3DAP像を基に、任意の領域を抜き取り詳細解析を行うことができます。 微小領域の濃度プロファイルの比較 特定の元素のみ3次元表示 クラスタ内の元素分布 M In g N Al Ga 0 2 4 6 0 5 10 15 20 Concentration (%) Distance (nm) In ※試料ご提供元：東京大学 杉山先生 任意断面における元素分布表示 超格子層(SLs) の濃度プロファイル 等濃度面法による 界面凹凸の可視化 クラスタ解析 0 20 40 -40 -20 20 40 60 80 100 120 p-AlGaN AlN/InGaN/AlN SLs p-GaN n-GaN LEDの3DAP像 (nm) 0 20 40 60 0 5 10 15 Concentration (%) Distance (nm) Ga In Al 0 20 40 60 0 5 10 15 Concentration (%) Distance (nm) Ga In Al In Al
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