3次元アトムプローブ解析事例集 5 21-102(1) 解析手法1 等濃度面を用いた界面表示 等濃度面は単位体積(Voxel)中の濃度が等しいVoxel同士を繋げて作成した面であり、界面の可視化や 局所的な濃度分布を表示できます。 解析手法2 プロキシグラム(Proxigram) 等濃度面を基準面とした各点から法線方向に濃度を計算した濃度プロファイルがプロキシグラムであり、 界面ラフネスの影響を除いて得られる濃度プロファイルは急峻性が向上します。 プロキシグラムの概念図 等濃度面 等濃度面から遠ざかると法線同士が 重なるため、信頼できる解析範囲は 基準面から±数nm以内になります 解析手法3 クラスタ解析 解析1)によって決定した以下のパラメータを用いてクラスタ解析を行います。 クラスタ解析の概念図 dmax：クラスタ原子間距離 Nmin：クラスタ構成最低原子数 クラスタ解析を目的とする原子(イオン) 上記以外の原子(イオン) , , クラスタ d max 1) 解析 ・Radial Distribution Function ・Frequency Distribution Analysis ・Nearest Neighbor Distribution ・Cluster Size Distribution Analysis ・Cluster Count Distribution Analysis 等濃度面(Iso-concentration surface) 80 atomic% 等濃度面 75 atomic% 等濃度面 70 atomic% 等濃度面 75% 70% 70% 70% 70% 70% 70% 70% 70% 70% 70% 70% 70% 70% 70% 75% 75% 75% 75% 75% 75% 75% 75% 80% 80% 80% 80% 80% 80% 80% 80% 80% 85% 85% 85% 85% 85% 85% 85% 85% 85% 85% 65% 65% 65% 65% 65% 65% 65% 65% Voxel (例：1nm×1nm×1nm) 80% 80% 80% 85%
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