3次元アトムプローブ解析事例集 22 元素 mass% Ca 0.085 Er 0.014 Fe 0.004 Ni 0.014 Si 0.006 元素 mass% Al 0.26 B 0.044 Cu 0.003 Fe 0.003 Hf 1.4 Na 0.004 Ni 0.006 Y 2.8 ICP分析 ICP分析 粒界付近における微量元素の 濃度プロファイル 粒界付近における微量元素の 濃度プロファイル 0.0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 1.2 1.4 1.6 0 10 20 30 40 50 60 70 80 0 10 20 30 40 Distance (nm) 【Y,Al,Hf,Na】Concentration (atomic%) 【Zr,O】Concentration (atomic%) O Y Zr Hf Al Na 粒界の偏析元素が Al,Y 特定 でし あましる たと 粒界の偏析元素が O,Er,Caであると 特定しました 3DAP原子マップ Zr Hf Na Al O N Y 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 【Er,Ca】Concentration (atomic%) 【Al,N,O】Concentration (atomic%) Distance (nm) Al N Er Ca O 3DAP 原子マップ Al N O Er Ca ZrO2分析結果 AlN分析結果 粒界付近におけるSTEM/EDS 分析 Hf Al O B Na Zr BF Y 粒界 3DAP像 解析方向 粒界 ● ● ● ● ● ● ● 3DAP像 解析方向 A N l O Er Ca 粒界 ● ● ● ● ● 60nm 粒界付近におけるSTEM/EDS 分析 N Al Er Ca O Si BF 粒界 60nm 20-022 Z O r Y Al HNa f N
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