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半導体製造等において広く用いられる水素アニール評価の一環として、TDS(Thermal Desorption Spectroscopy)にて測定した事例をご紹介･･･
材料や部品から発生するガスを把握することにより、表面付着物、工程改善策の確認や不具合発生原因の推定を行うことができます。昇温脱離ガス分析(TDS)では、真空中で･･･
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