気泡成分のTPD/MSによる特定Analysis of Bubbles using TPD/MS
LCDパネル・ガラス・包装材などの封止中に発生した気泡成分は、TPD/MSで同定および定量分析が可能です。気泡成分の組成を明らかにすることにより発生メカニズムを推定できます。また、封止ガス成分の分析も可能です。
事例 LCDパネル内の気泡成分の特定
LCDパネル中の気泡成分を分析することにより、液晶中の溶存ガスが溶存限界を超えて気泡化したかなど、ガス発生メカニズムを考察するうえで重要な情報が得られます。
試料室内で気泡を破壊することができ、気泡内のガス成分のみを質量分析計に導入して、成分の同定・定量を行います。
破壊時に発生したガスの定量結果 (単位：µL)
| ガス種 | H2O | N2 | O2 | CO2 |
|---|---|---|---|---|
| 質量数 | m/z 18 | m/z 28 | m/z 32 | m/z 44 |
| リファレンス1) | 62 | 0.2 | N.D. | 0.02 |
| 気泡 | 55 | 0.3 | N.D. | 1.0 |
1) リファレンスは気泡がないLCDパネルを破壊した際に発生したガスを定量したものです。
気泡の主成分はCO2であり、構成部材の熱処理により生成したものと推定されます。
用途
- LCDパネル内の気泡成分分析
- ガラス内気泡の組成分析
- 封入ガスの組成分析
[ 更新日:2025/04/22 ]
