【出展しました】第87回応用物理学会秋季学術講演会(2026/9/8-11)

東芝ナノアナリシスは、2026年9月8日(火)-11日(金)に開催された第87回応用物理学会秋季学術講演会にてポスターを出展しました。

◎今回ご紹介した技術内容
　・放射光トポグラフィーによる欠陥評価
　・ラマンによる電子デバイスの応力分布評価
　・先端ロジックデバイスのSTEM構造解析
　・Al合金のGa-FIB・Xe-プラズマFIB加工比較
　・SJ-MOSFETのデバイス解析
　・半導体デバイスの構造解析
　・どこで故障したか見たい！

ご来場いただいた皆様には、厚く御礼申し上げます。

[ 更新日:2026/09/14 ]