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一般材料

酸素・窒素/炭素・硫黄分析

金属・セラミックス・ナノマテリアル材料中に含まれる酸素・窒素・炭素・硫黄は、材料の特性に大きく影響を及ぼすことが知られています。酸素・窒素分析/炭素・硫黄分析装･･･

複雑な3次元形状に形成されたレジストパターンのできばえ評価において、熱に弱いレジストパターン試料を試料冷却機構と3軸イオン源を有するイオンミリング技術により、ダ･･･

ナノマテリアル材料を用いた製品の開発・プロセス改善には、その化学的な性質の把握が重要です。化学分析で、純度、不純物の組成・定量、含水率や官能基の種類など、さまざ･･･

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