クリーンルーム分析室 無機金属分析 誘導結合プラズマ発光分光分析(ICP-OES) ■ 薄膜の組成、不純物の定量分析 ■ 金属・セラミックス・医薬品・ナノマテリアルの定量分析 ■ 有機材料中の微量無機成分分析 ■ プロセス評価に関連した分析 内 容 ■ 窒化膜(TiN, TaN, GaN)の組成分析 ■ 金属膜(TiW, Al)の不純物分析 ■ 金属薄膜の膜厚・付着量評価 ■ 金属・高純度材料の成分・不純物分析 ■ LED蛍光体の組成・不純物分析 ■ 各種鉄鋼・非鉄・セラミックス材料のJIS および協会規格成分分析 ■ セラミックス(SiN)の酸素・窒素分析 ■ 鉄鋼の炭素・硫黄分析 ■ ファインセラミックス材料の組成・不純物・ハロゲン分析 ■ ソーダライムガラスの半定量分析 ■ 電池材料の組成・不純物分析 ■ ナノマテリアル材料(CNT)の金属成分分析 ■ 半導体封止樹脂の腐食性成分分析 ■ レジストの不純物分析 ■ 有機溶媒の微量不純物分析 ■ CVD装置内および配管中の付着粉体の成分分析 ■ 微小異物(～10μｍ)の定性・半定量分析 事 例 ■誘導結合プラズマ質量分析(ICP-MS・ICP-MS/MS) ■誘導結合プラズマ発光分光分析(ICP-OES) ■イオンクロマトグラフ(IC) ■ガス(酸素・窒素・炭素・硫黄)分析 ■波長分散型蛍光X線分析(WD-XRF) ■エネルギー分散型蛍光X線分析(ED-XRF) ■エネルギー分散型微小部蛍光X線分析(ED-μXRF) ■熱加水分解分離システム(自動試料燃焼装置) 主要設備 豊富な経験に基づいた確かな前処理・測定技術で、薄膜、金属、セラミックス、医薬品、ナノマテリアル および有機材料中の組成や不純物分析を迅速かつ高精度にご提供します 無機化学分析 11 Toshiba Nanoanalysis ~ 、 .- L 8 4' 』 一~ ~
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