クリーンルーム・プロセス評価

半導体デバイスメーカーで培った経験豊かな技術で、極微量成分のサンプリングから分析まで行いクリーンルーム・プロセス評価をサポートします

内容

半導体ウェーハ分析

  • ウェーハメタル分析、吸着イオン分析、吸着有機物分析

クリーンルーム環境分析

その他関連技術

事例

主要設備

クリーンルームのサンプリングポイント例
クリーンルームのサンプリングポイント例

ウェーハメタル分析
ウェーハメタル分析

ウェーハ・フォトマスク用流通法前処理サンプリング例
ウェーハ・フォトマスク用流通法
前処理サンプリング例

Trace-level Composition Analysis / English

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