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東芝ナノアナリシス株式会社

実装基板・パッケージの評価・解析サービス

グリーン調達サービス RoHS,REACH

半導体チップの製品解析サービス

クリーンルームの清浄度管理分析サービス

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サービス内容分析技術別製品分野別
ナノ構造解析
TEM測長、直接観察、元素マッピング・定性/定量分析、断面構造解析、歪み解析
表面元素分析
表面・界面状態解析、バンドギャップ測定、極浅元素分布測定、深さ方向分析(イオンエッチング、裏面研磨、斜め切削)

薄膜物性評価
密着性評価、結晶構造評価、膜厚・ラフネス・密度・粒径評価、脱離ガス分析
故障解析
半導体・FPD・電子部品の故障解析

製品解析
半導体・FPD・電子部品のできばえ調査
信頼性評価
環境試験、寿命試験、非破壊検査(X線CT、超音波顕微鏡)

極微量成分分析
半導体ウェーハ分析、クリーンルーム環境分析、全反射蛍光X線(TXRF)用標準ウェーハ、強制汚染ウェーハの作製、極微量汚染分析、極微量成分分析
無機成分分析
半導体・金属・セラミックスの組成・不純物分析、有機材料の金属分析

有機成分分析
有機汚染分析、有機材料の評価、熱物性測定
環境化学分析
環境規制成分分析、作業環境測定、PM2.5成分測定、ナノマテリアル環境評価、粒子封じ込め性能評価

ナノ構造解析 微細加工 イオンミリング、 ダイシング・ソーFIB
形状観察 OMSEMULV-SEMTEMSTEMSPM
構造解析 XRDTEM
元素分析 AEMEDSEELS
三次元元素分析 3DAP
歪み解析
表面元素分析   Q-SIMS極低エネルギーSIMS高質量分解能SIMSTOF-SIMSXPSFE-SAMEPMAREELSHX-PESrf-GD-OES裏面研磨高精度斜め切削
薄膜物性評価   XRDXRRSAXSμXRDラマン分光m-ELT4PBTDS、分光エリプソメーター
故障解析
製品解析
電気特性 半導体パラメータアナライザ、カーブトレーサ、パルスジェネレータ
非破壊観察 透過型X線SATSAM
故障箇所特定 OBIRCHEMS(PEM)
微細加工 FIB、断面/表面研磨、ダイヤモンドワイヤーソー、イオンミリング(断面/表面)
形状観察 OMSEMSEM(CL)ULE-SEMTEMSTEMAFM
元素分析 SEM(EDS)TEM(EDS)EPMAFE-SAM
三次元元素分析 3DAP
拡散層観察 SCM
信頼性評価 環境試験 恒温器(高温、低温)、恒温恒湿器、温湿度サイクル試験器、温度サイクル試験器(気槽式)、熱衝撃試験器(液槽式) 、HASTチャンバー、リフロー炉
機械強度試験 万能強度試験機、曲げ試験機
非破壊検査 SATSAM透過型X線3次元X線顕微鏡
極微量成分分析   GC/MSICICP-MSTOC
無機成分分析 組成分析 ICP-OESXRFICAAS
ガス分析 ガス分析
微量分析 ICP-MSICFL-AASETAAS
有機成分分析 組成分析 FT-IRGC/MSTOCTG-DTATG-DTA/MSHPLCICカールフィッシャー水分計
ガス分析 GC/MSGC/FIDGC/FPDGC/TCDTG/MSTDSTPD/MS
微量分析 GC/MSTOF-SIMSHPLCGC/MS/MSLC/MS/MSICカールフィッシャー水分計
分子構造解析 FT-IRGC/MSPy-GC/MSNMRラマン分光LC/TOF-MS
環境化学分析 水質 ICUV/VISTOCICP-OESオートアナライザーLC/MS/MS
大気 排ガス連続測定、臭気官能試験
土壌・産業廃棄物 ICP-OESICP-MSGC/MSGC/ECD
作業環境測定 GC/FIDGC/TCDLC/MS/MS
封じ込め性能評価 HPLC/ECDLC/MS/MS
グリーン調達 ED-XRFED-μXRFIT-GC/MSIAMSICP-OESICP-MS吸光光度計LC/MS/MS
●半導体
最先端のメモリからパワーデバイス、白色LED等の個別半導体まで幅広く半導体製品の各種材料分析と評価、製品解析、信頼性評価を行います。
また、製造環境評価や各種テストウェーハ作製も支援します。
●電子材料
幅広い材料分析・評価の経験を生かし、FPD、太陽電池、二次電池等の製品や材料などの分析評価により開発、品質向上を支援します。
太陽電池 ◆リチウムイオン二次電池

●一般材料
各種素材・材料からナノマテリアルの組成分析、状態分析を通して本質的な問題を捉え、プロセス改善や品質管理を支援します。
●医薬・医療
製薬設備の粒子封じ込め評価院内調製室の抗がん剤ばく露評価ICH Q3Dに準拠した医薬品の金属不純物分析医薬品の熱安定性評価など。

●環境
健康や地球環境のさまざまな問題解決を、総合的な分析・解析力によって支援します。また、グリーン調達等の環境規制物質の分析や、ナノ粒子などの環境汚染評価を行います。

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TEL:045-770-3471
FAX:045-770-3479
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