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東芝ナノアナリシス株式会社

東芝ナノアナリシス株式会社の事業案内

ナノ構造解析 微細加工 イオンミリング、 ダイシング・ソー、 FIB
形状観察 OM、 SEM、 ULE-SEM、 TEM、 STEM、 SPM
構造解析 XRD、 TEM
元素分析 AEM (EDS、 EELS
三次元元素分析 3DAP
歪み解析 NBD
表面元素分析   Q-SIMS、 極低エネルギーSIMS、 高質量分解能SIMS、 TOF-SIMS、 XPS、 FE-SAM、 EPMA、 R-EELS、 HX-PES
裏面研磨、高精度斜め切削
薄膜物性評価   XRD、 XRR、 SAXS、 μXRD、 ラマン分光、 m-ELT、 4PB、DCB、TDS
故障解析   OBIRCH、 EMS、X線透過、 SAT
FIB、断面/表面研磨機・切断機、イオンミリング（断面／表面）
SCM、 SSRM
製品解析   X線透過、 SAT
FIB、断面/表面研磨機・切断機、イオンミリング（断面／表面）
TEM(EDS)、 SEM(EDS/EPMA)、 AFM
製品の信頼性評価   恒温槽
極微量成分分析   GC/MS、 IC、 ICP-MS、 TOC
環境負荷低減・
環境管理分析		 水質 IC、 UV/VIS、 TOC、 ICP-OES、オートアナライザー、LC/MC/MC
大気 排ガス連続測定装置、臭気官能試験
土壌・産業廃棄物 ICP-OES、 ICP-MS、 GC/MS、 GC/ECD
作業環境測定 GC/FID、 GC/TCD、 LC/MC/MC
封じ込め性能評価 HPLC/ECD、LC/MC/MC
グリーン調達 ED-XRF、 μED-XRF、 IT-GC/MS、IAMS、 ICP-OES、 ICP-MS、 吸光光度計、LC/MC/MC
無機成分分析 組成分析 ICP-OES、 XRF、 IC、 AAS
ガス分析 ガス分析装置
微量分析 ICP-MS、 IC、 FL-AAS、 ETAAS
有機成分分析 組成分析 FT-IR、 GC/MS、 TOC、 TG-DTA、 HPLC、IC、カールフィッシャー水分計
ガス分析 GC/MS、 GC/FID、 GC/FPD、 GC/TCD、 TG/MS、 TDS、TPD/MC
微量分析 GC/MS、 TOF-SIMS、 HPLC、 GC/MS/MS、LC/MC/MC、IC、カールフィッシャー水分計
分子構造解析 FT-IR、 GC/MS、 Py-GC/MS、 NMR、ラマン分光、LC/TOF-MS

クリーンルームの清浄度管理分析サービス

グリーン調達支援サービス RoHS,REACH

実装基板・パッケージの評価・解析サービス

半導体チップの製品解析サービス

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