高機能自動化SIMSHigh Performance Automatic SIMS
二次イオン質量分析(SIMS)は、全元素に対して高感度かつ高質量分解能測定での深さ方向分析が可能です。さらに当社では、試料導入から分析までの自動化機能を加え、高精度な自動測定が可能になりました。それによって、短期間で回答が求められる半導体デバイスなどのプロセス開発や不良解析への迅速なフィードバックを行うことができます。
[ 更新日:2024/02/26 ]
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