X線回折・X線反射率測定

X線回折 (XRD)・X線反射率測定 (XRR) 目 次 薄膜X線回折 (XRD) 高温XRDによる極薄膜の結晶性評価 リートベルト解析によるX線回折データの定量分析 X線反射率測定 (XRR) による薄膜評価 1 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P2 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P3 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P4 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P5〜P6 略語 XRD XRR ： 手法・装置名 : X-ray Diffraction (Ｘ線回折) : X-ray Reflectometry (Ｘ線反射率測定)