X線回折(XRD)・X線反射率測定(XRR) 目 次 薄膜X線回折(XRD) 高温XRDによる極薄膜の結晶性評価 リートベルト解析によるX線回折データの定量分析 X線反射率測定(XRR) による薄膜評価 1 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P2 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P3 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P4 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P5～P6 略語 XRD XRR ：手法・装置名 : X-ray Diffraction (Ｘ線回折) : X-ray Reflectivity (Ｘ線反射率測定)
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