飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS) 8 17-002(2) LCD基板を斜め切削し、切削面をTOF-SIMSで分析しました。 基板 液晶配向膜(ポリイミド)やITO電極よりも下層にあるカラーフィルター層の RGB各顔料成分のフラグメントイオンをはっきりと捉えることができました。 液晶ディスプレイ多層膜分析 TOF-SIMS測定領域 切削面 ライン分析 ライン分析 切削方向 TOF-SIMS測定領域 切削面 切削面の光学顕微鏡像 切削面の二次イオン像 100μm ライン分析における二次イオンプロファイル Color Filter ITO Polyimide Negative ion μm Counts (a.u.) カラーフィルター －CN －Cl －CNO －Br －Red (115) －Blue (223) －Green (355) 負イオン 負イオン ITO/ポリイミド 100μm Ti Cu In PI (128) Red (357) Blue (575) Green (695) Color Filter ITO Polyimide Positive ion Counts (a.u.) μm カラーフィルター ITO/ポリイミド －Ti －Cu －In －PI (128) －Red (357) －Blue (575) －Green (695) 正イオン 正イオン 100μm 有機薄膜の深さ方向分析 Depth Profile Analysis for Organic Thin Film
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