飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS) 5 TOF-SIMSによる有機ELディスプレイの分析 Analysis of Organic Light Emitting Diode Display using TOF-SIMS 4層の有機層とアノードのプロファイルが確認できました。 分析結果 分析結果のまとめ 1.0E+00 1.0E+01 1.0E+02 1.0E+03 1.0E+04 ITO:Indium Tin Oxide (透明導電膜) 各層の3次元イメージ 各層 検出した二次イオンの 推定組成式(一例) 各層の推定構造式 (一例) 電子注入層 LiF － 電子輸送層 C42H26N4 発光層 C36H24 正孔輸送層 C44H32N2 正孔注入層 C54H38N2 電子輸送層 発光層 正孔輸送層 正孔注入層 ITO(アノード) Intensity 深さ方向プロファイル Li＋ 113In＋ C36H24＋ C42H26N4＋ C44H32N2＋ C54H38N2＋ 浅 深 C42H26N4 + C36H24 + C44H32N2 + C54H38N2 + 113In+ 3次元イメージの重ね書き 有機ELディスプレイ(OLED)は、応答速度が速く、フレキシブルで軽量なため、液晶ディスプレイ (LCD)とともに薄型ディスプレイの主力となっています。 OLEDのデバイス特性を評価するうえで、 有機層の組成や層構造を把握することは重要です。 今回、GCIB(ガスクラスターイオンビーム)を用いたTOF-SIMSの深さ方向分析を行い、OLEDの 層構造の解析を行なった結果をご紹介します。 市販の小型テレビを解体し、OLEDの有機層をAr GCIB-TOF-SIMSにより、深さ方向分析をしました。 推定層構造図 ITO(アノード) カソード 電子注入層 電子輸送層 発光層 正孔輸送層 正孔注入層 測 定 し た 有 機 層 と 測 定 方 向 事例 有機ELの深さ方向分析 18-147(2)
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