それ、壊さずに見えますよ！

それ、壊さずに見えますよ！ 5 磁場・電流が見える！ Analysis of Magnetic Fields and Electric Currents 磁場顕微鏡は、試料を破壊せずに試料内部の電流から生じる外部磁場分布を測定し、 数学的な処理を施して、電流経路を推測し可視化する技術です。 半導体や電子部品の不具合箇所の特定や、新素材の電流分布の測定に有効です。 基板の電流経路 基板上の X,Y 方向の磁場を測定し、磁場の変化が大きい箇所を電流経路と推測して可視化しました。 基板配線パターン V X Y 磁場顕微鏡像 推定電流像 推定電流像 ( 方向 ) ↑← ： ： 青青 、 、 ↓→ ： ： 赤赤 サーモカメラの磁場分布 電子機器が発する磁場の分布を可視化しました。 ポイント ◆非破壊・非接触での測定 ◆広範囲 (A4 サイズ ) の観察が可能 ◆電子機器が発する磁場分布の可視化 ◆電子機器に含まれる強磁性体の分布を可視化 ◆電流から発生する磁場を測定することで電流経路を推測することも可能 X 線透過像 充電時磁場顕微鏡像 磁場 (a.u.) -1.6E+0 0E+0 1.2E+0 動作時磁場顕微鏡像 磁場 (a.u.) -1E+0 -5E+0 0E+0 5E+0 1.1E+0 充電時と動作時を表す下図において、点線で囲った部分の明暗が逆になっています。 電流の流れる向きが逆であることを反映しています。 21-093