それ、壊さずに見えますよ！

それ、壊さずに見えますよ！ 2 隠れた異常が見える！ Analysis of Hidden Defects 非破壊の観察手法には電流経路を可視化する磁場顕微鏡、剥離を高感度で検出する超音波 顕微鏡、内部構造を 3 次元で観察できる X 線顕微鏡 (X 線 CT) があり、これらを組み合わせることで、 さまざまな現象を捉えることができます。 磁場顕微鏡・ X 線 CT によるショート箇所の観察 磁場顕微鏡で電流経路を推測し、 BGA の電流が流れないはずの経路で電流が流れている箇所を特定しました。 X 線 CT で、はんだバンプ間に異物があり、ショートしていることが分かりました。 透過 X 線像と電流経路の重ね合わせ 透過 X 線像 磁場顕微鏡像 ( 電流経路 ) 4mm X 線 CT 像 (3 次元 ) ショート箇所 断層像 超音波顕微鏡・ X 線 CT による破壊試験品のクラック観察 超音波顕微鏡で特定したクラック箇所を、 X 線 CT で拡大して観察しました。 モールド樹脂やレジストのような軽元素で構成されている箇所も高分解能でクラックを観察できます。 観察試料 BGA 断面図 基板 チップ 樹脂 鋼球 衝突 クラック BGA ： Ball Grid Array 超音波顕微鏡像 ( 平面 ) X 線 CT 像 ( 断面 ) レジスト Cu 配線 基材 Cu レジ 配 ス 線ト クラック 21-093